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中微公司發(fā)布用于深紫外LED量產(chǎn)的MOCVD設(shè)備Prismo HiT3(TM)

中微半導(dǎo)體設(shè)備股份有限公司今日宣布推出Prismo HiT3(TM) MOCVD設(shè)備,主要用于深紫外LED量產(chǎn)。

上海2020年7月30日 /美通社/ -- 中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司(以下簡稱“中微公司”,上交所股票代碼:688012)今日宣布推出Prismo HiT3TM MOCVD設(shè)備,主要用于深紫外LED量產(chǎn)。

中微Prismo系列MOCVD設(shè)備目前已進(jìn)入全球大多數(shù)領(lǐng)先的藍(lán)綠光LED制造商,此次推出的Prismo HiT3TM是中微Prismo系列MOCVD設(shè)備的最新產(chǎn)品。該設(shè)備是適用于高質(zhì)量氮化鋁和高鋁組分材料生長的關(guān)鍵設(shè)備,反應(yīng)腔最高溫度可達(dá)1400度,具有優(yōu)異的工藝重復(fù)性、均勻性和低缺陷率。該設(shè)備同時(shí)也為高產(chǎn)量而設(shè)計(jì),單爐可生長18片2英寸外延晶片,并可延伸到生長4英寸晶片。

中微公司Prismo HiT3TM MOCVD設(shè)備早期的客戶包括國內(nèi)領(lǐng)先的深紫外LED制造商馬鞍山杰生半導(dǎo)體有限公司,該公司的深紫外LED在家用、醫(yī)療和科研設(shè)備等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。

深紫外光幾十年前就被應(yīng)用于工業(yè)和民用消毒殺菌領(lǐng)域。它通過破壞細(xì)菌和病毒的DNA使其喪失繁殖能力來發(fā)揮作用。深紫外LED被用于不同波長的殺菌燈中,且與傳統(tǒng)的汞燈相比對環(huán)境無污染。類似SARS、MERS和新冠病毒的出現(xiàn)使得深紫外LED產(chǎn)品的需求激增,深紫外LED產(chǎn)品可以消滅這些新生微生物。波長260-280nm的UVC波段的深紫外光就是目前該領(lǐng)域最先進(jìn)的技術(shù)解決方案(例如杰生半導(dǎo)體的深紫外LED產(chǎn)品)。

中微公司設(shè)計(jì)的Prismo HiT3TM MOCVD設(shè)備具有新穎的腔體設(shè)計(jì),能在高溫環(huán)境下生長高質(zhì)量氮化鋁工藝,并具有業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的深紫外LED高產(chǎn)出率;同時(shí)具備較長的平均免開腔維護(hù)間隔時(shí)間,進(jìn)一步延長正常運(yùn)行時(shí)間并提高產(chǎn)能。真空自動(dòng)化傳輸系統(tǒng)可以抑制顆粒物的產(chǎn)生,并減少缺陷。自動(dòng)化升降機(jī)構(gòu)可方便維護(hù)操作并有效節(jié)省維護(hù)時(shí)間。

“我們現(xiàn)在已經(jīng)看到了深紫外LED帶來的切實(shí)好處,它已成為消滅有害病原體的重要工具。”杰生半導(dǎo)體有限公司董事長康健說道,“隨著深紫外LED技術(shù)的持續(xù)發(fā)展,我們?yōu)槟軌蛟诠埠图彝ハ井a(chǎn)品領(lǐng)域處于領(lǐng)先地位而感到自豪。中微公司設(shè)計(jì)的Prismo HiT3TM MOCVD設(shè)備可以滿足深紫外LED大批量、低生產(chǎn)成本的制造需求。中微公司憑借其世界一流的工藝專長和高性能的MOCVD設(shè)備解決方案,是值得信賴的合作伙伴?!?/p>

“中微自主研發(fā)的Prismo HiT3TM MOCVD設(shè)備延續(xù)了我們現(xiàn)有Prismo平臺(tái)已驗(yàn)證的主要?jiǎng)?chuàng)新功能,并提升了可在高溫工藝環(huán)境下生長氮化鋁基材料的性能,使之拓展到深紫外LED的應(yīng)用。”中微公司執(zhí)行副總裁兼首席運(yùn)營官杜志游博士說道,“杰生半導(dǎo)體始終致力于持續(xù)發(fā)展LED技術(shù)并創(chuàng)造有益于人類健康的產(chǎn)品,我們很高興杰生成為我們的早期用戶,同時(shí)也很榮幸我們的設(shè)備解決方案能夠助力客戶研發(fā)下一代深紫外LED產(chǎn)品,并在技術(shù)研發(fā)和成本控制上幫助客戶達(dá)成目標(biāo)?!?/p>

Prismo HiT3TM是中微公司的注冊商標(biāo)。

消息來源:中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司
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